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在深圳厂房装修电子工业中广泛采用各种化学物质对晶园和设备进行酸洗和冲洗。SEMI国际机构和其他机构对洁净度提出了要求。大部分企业都定制了本企业的工艺介质洁净度标准。
液体洁净度水平应该达到1ppb,即十亿分之一。这就意味着十亿物质分子中一个杂质分子。
工艺液体与去离子水不同,是由专业工厂制造并桶装供应,运输隔离箱是用不溶解的物质制成,不产生粒子。
微电路生产所应用的液体,可分装成小包装或者用管道配送到使用点。
液体用管道及其将液体从一个容器分装到另一个容器均是要求极为严格的操作。要求特别加以注意的是,其中包括防止交叉污染。
最近出现了直接与使用点相连接的工艺液体制备装置,采用此项工艺后,可以取消运输工序,不需要将液体从一个隔离箱转至另一个隔离箱,以及不需要配送,由此可以是洁净度水平达到万亿分之一。
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