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当前洁净室空气过滤器系统安装后的检漏,将直接决定深圳厂房装修的整体情况。可采用光度计或者离散粒子计数器进行扫描检漏或者分单元每单元集中一点检漏,然而后者非扫描法检漏的灵敏性比扫面法低得多,限用于安装于管道内或者空调器内不便于扫描检漏且过滤器穿透率大于0.005%的系统,亦可以用于非单流方式的装置的末端过滤器。因此扫描检漏书主要的。而DPC扫描检漏比光度计扫面检漏,有下列优点:灵敏度高,速度快,准确性好,所需要的气溶胶浓度低仅为光度计的百分之一至千分之一,被检过滤器受其污染的程度低。
DPC扫描检漏可用于个等级的洁净室及其空气过滤器系统,可满足对穿透率低至0.000005%过滤器系统的检漏,而光度计扫描检漏限于穿透率大于0.005%过滤器系统及洁净室洁净度5级及更差的空气系统,因此当前DPC扫面检漏是主流,它的进展直接代表了洁净室空气系统检漏的进展。
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