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近年来,在深圳集成电路工厂和深圳厂房装修的数量迅速增加,建设一座集成电路工厂需要花费数亿美元,由于其生产的复杂性和连续的特点,需要有很多的动力供应系统连续稳定运行才能满足生产要求,动力系统对工厂来说就像一个人的血液循环系统一样,不允许出现任何故障。
集成电路工厂运行维护的目的
安全性
一般的集成电路工厂都要使用到几十种化学药品和特殊气体,而这些化学药品中不乏有毒、强腐蚀、易燃易爆等危险品,加上相对集中而又密闭的作业环境,如何保证工厂的安全是摆在我们面前的首要问题,即便是在管理水平很高的发达国家,集成电路工厂的事故也常有发生,今年上半年在国内的集成电路工厂出现过药品泄漏事件、火灾事故、特殊气体泄漏事故也不在少数,应该引起我们的高度重视。
稳定性
这是指为满足生产所需要的各种动力条件品质的稳定性,包括净化间的温湿度稳定、纯水、气体、电力、药品等的稳定供应,因为一旦某个系统出现热任何问题都会影响整个生产线,轻则造成返工,重则成批产品报废。
环保性
集成电路生产要排出大量的废水、废气、废液及固体废弃物,保证这些有毒有害的物质得到合理处理,减少对环境的污染是我们共同的责任。
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