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微电子工业洁净厂房的设计是一项综合技术,它与其他工业厂房装修设计有类似之处,但也有一些特殊之处。其主要特点如下:
一、要根据生产产品的特点,确定技术要求。如空气洁净等级、防微振、高纯物质等要求是不同的,应按具体情况确定。
二、为确保洁净室内所必须的洁净度,各个专业均要求不引入或少引入污染物,不产生和少产生污染物,不滞留或少滞留污染物。
三、洁净厂房的设计是各专业设计技术的综合,要求各专业密切协同,相互渗透和合理安排。
四、洁净厂房的设计应确保安全生产和环保要求。各专业设计必须满足消防防火要求。同时由于微电子工业的生产特点,生产过程中产生出一些废水、废气,必须经过特殊处理达到国家排放标准后才能排放。
五、微电子工业发展日新月异,洁净厂房本身是一个技术密集、资金密集的产物,投资非常巨大,这就要求洁净厂房的设计要考虑一定的灵活性,以便产品换代时方便地进行技术改造。
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